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熱場式場發射掃描電鏡 SU5000

    詳細說明

    特點

    高性能電子光學系統
    二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)*
    高靈敏度: 高效PD-BSD, 超強的低加速電壓性能,低至100 V成像
    大束流(>200 nA): 便于高效微區分析
    性能優異
    壓力可變: 具有優異的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測器(UVD)*
    開倉室快速簡單換樣(最大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
    微區分析: EDS, WDS, EBSD等等


    規格

    *1:
    減速功能(包含高分辨率頂位二次電子探測器)
    *2:
    低真空功能(包含5分割半導體探測器)
    *3:
    空壓機(本地采購)
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